隨著功能性薄膜在新型顯示、新能源電池等領域的深度應用，終端產品對長期可靠性的要求提升，薄膜材料必須滿足優異的表面潤濕性、物理化學性能穩定以及表面潔凈度高等需求。然而，基材表面惰性、表面粉塵吸附、有機物殘留等仍是阻礙終端產品可靠性的瓶頸。
等離子清洗技術作為一種干式、環保的表面處理工藝，在工業制造中發揮著重要作用。其通過等離子體與材料表面的物理化學反應，實現清潔、活化和改性效果。
在封裝行業中，等離子清洗是一種先進的清洗技術，它可以通過改性表面，增強粘合、去除污染物，增強表面附著力、增強產品的質量、提高良率、降低成本和提高生產效率等方面，為封裝過程提供更好的環境和條件。
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，...
晟鼎等離子去膠機廣泛應用于半導體制造、MEMS器件、光電子元件、先進封裝等高科技領域的表面去膠、活化及表面處理等關鍵工藝。
傳統濕法去膠在面對復雜三維結構、敏感材料和嚴苛尺度時局限性凸顯，而等離子干法去膠技術利用高能等離子體去除光刻膠，去膠徹底且速度快，無需引入化學物質，避免造成材料損傷，已逐漸成為先進封裝工藝鏈中不可替代的核心制程。
等離子清洗機(plasma cleaner)，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離...
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