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Plasma真空等離子清洗在半導體封裝行業的應用

在封裝行業中,等離子清洗是一種先進的清洗技術,它可以通過改性表面,增強粘合、去除污染物,增強表面附著力、增強產品的質量、提高良率、降低成本和提高生產效率等方面,為封裝過程提供更好的環境和條件。

真空等離子清洗機的原理:氣體在一定條件下(如射頻、微波、直流輝光放電等)電離形成活性等離子態,利用等離子中的活性粒子與物體表面污物進行化學反應,或利用等離子中的高能粒子轟擊物體表面污物形成可揮發性的污物隨真空泵油走,達到清洗的目的。

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