微波PLASMA如何提升Die Bonding工藝可靠性

Die Bonding就是將芯片裝配到基板或框架上去，常用的方法有共晶焊接、銀膠粘接、鉛錫合金焊接等。

上周我們一起了解了微波PLASMA如何提升共晶焊接的可靠性。

本周讓我們?cè)僖黄鹛接懶酒你y膠粘接工藝，看看微波PLASMA如何提升芯片粘接可靠性。

NO.1 銀膠粘接的主要作用

銀膠是一種固化或干燥后具有一定導(dǎo)電性能的膠黏劑，小功率芯片互聯(lián)、非可焊接表面的互聯(lián)，都需要選擇銀膠來進(jìn)行。

銀膠粘接的主要作用是給芯片與基板或框架之間，提供良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性和固化效果。因此芯片與基板或框架之間，不止需要形成良好的導(dǎo)電通路，還需要具備一定的粘接強(qiáng)度。

NO.2 影響芯片粘接的因素

芯片粘接可靠性是電子封裝質(zhì)量的一個(gè)關(guān)鍵因素，它直接影響了整個(gè)IC電路的質(zhì)量和壽命。

基板或框架表面是否存在有機(jī)物污染和氧化膜、芯片背面硅晶體的浸潤性等，均會(huì)對(duì)粘接效果產(chǎn)生影響。

NO.3? 如何提升芯片粘接可靠性

芯片粘接可靠性提升途徑：

1. 使用微波PLASMA去除基板或框架表面的有機(jī)物污染；

2. 使用微波PLASMA活化芯片背面，改善硅晶體表面活性，提高其浸潤性；

實(shí)驗(yàn)采用微波PLASMA清洗機(jī)處理晶圓硅片，處理后所測(cè)接觸角在10°以下。

實(shí)驗(yàn)采用微波PLASMA清洗機(jī)處理引線框架，處理后所測(cè)接觸角約12°左右。

實(shí)驗(yàn)證明 ：

使用微波PLASMA等離子清洗機(jī)，處理芯片表面和框架表面，能有效地清潔并改善表面的浸潤性，從而提升芯片粘接的效果。

NO.4 為什么選擇微波PLASMA

為保證Die Bonding后的器件性能，必須在不破壞芯片及其他所用材料的表面特性、電特性等前提下，去除表面的有機(jī)污染物和氧化膜等。射頻等離子技術(shù)因處理溫度高，均勻性不夠，射頻電流易導(dǎo)致芯片損壞等原因，已無法滿足現(xiàn)在的技術(shù)需求。

晟鼎精密自主研發(fā)微波等離子發(fā)生器，高效均勻，助您無損去除精密器件表面的有機(jī)物污染、并活化器件表面，從而顯著改善可制造性、可靠性以及提高成品率。

NO.5 晟鼎微波PLASMA優(yōu)勢(shì)

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