所屬分類：真空等離子清洗機(jī)
在線片式真空等離子清洗機(jī)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)引線框架表面清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。
在線片式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品原理：
片式真空等離子清洗機(jī)（Plasma cleaner），氣體通過密封容器中設(shè)置兩個(gè)正負(fù)電極形成電場，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長，受電場作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，等離子體轟擊產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。
專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的在線真空等離子清洗機(jī)。針對封裝工藝中的引線框架上點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合、除膠及塑封等工藝前清洗，大大提高粘接及鍵合強(qiáng)度等性能的同時(shí)，避免人為因素長時(shí)間接觸引線框架而導(dǎo)致的二次污染以及腔體式批量清洗時(shí)間長有可能造成的芯片損傷。
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