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ICP干法等離子去膠機(jī)

所屬分類：等離子去膠機(jī)

可BAW/SAW工藝中的光阻去除，配備單腔雙腔兩種類型

全國服務(wù)熱線

產(chǎn)品詳情

ICP 干法等離子去膠機(jī)主要用于聚合物去除、ASHING、DESCUM、離子注入后光阻去除、表面殘留物清除等。ST3100腔體適用于4-8寸樣品，單次處理片數(shù)1片；ST3200腔體適用于4-8寸樣品，單次處理片數(shù)2片。

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產(chǎn)品中心: 快速退火爐; 等離子清洗機(jī); 等離子去膠機(jī); 微波等離子清洗機(jī); 接觸角測量儀; USC干式超聲波除塵; 靜電消除器

行業(yè)案例: 半導(dǎo)體行業(yè); 新能源行業(yè); 顯示行業(yè); 3C行業(yè); 儀器儀表行業(yè); 汽車行業(yè)

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