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全自動雙腔半導(dǎo)體快速退火爐RTP
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-DTS-8全自動雙腔快速退火爐是在保護(hù)氣氛下的全自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用6寸8寸片快速熱退火制程。</span></p>
桌面型快速退火爐RTP,快速熱處理退火爐
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-Table-6桌面型快速退火爐是在保護(hù)氣氛下的桌面快速退火系統(tǒng)，以紅外鹵素?zé)艄芗訜幔珳?zhǔn)控制升溫，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性，適用6寸快速退火制程。</span></p>
半自動半導(dǎo)體快速退火爐RTP
<p><span style="font-family: ">RTP-SA-12半自動快速退火爐是在保護(hù)氣下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用 4-12 英寸片。</span></p>
RPS遠(yuǎn)程等離子源SPR-08
<p>SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器，它的功能是用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場和磁場作用下，原材料氣體會被解離，從而釋放出自由基，活性離子進(jìn)入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，聚合為高活性氣態(tài)分子經(jīng)過真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內(nèi)部潔凈度。</p>
大腔體真空等離子清洗機(jī)
<p><span style="color: rgb(101, 113, 128); font-family: -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, ">針對汽車內(nèi)飾件制程中植絨、包覆工藝前，通過晟鼎真空等離子進(jìn)行表面處理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易與包覆材料結(jié)合，從而提高包覆的牢固度和耐久性。</span></p>
在線片式真空等離子清洗機(jī)PT-RF-A-12
<p>在線片式真空等離子清洗機(jī)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)引線框架表面清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。</p>
ICP干法等離子去膠機(jī)ST-6100
<p>微波等離子去膠機(jī)反應(yīng)速度快，反應(yīng)時間短，處理過程溫度低<br/></p><p><br/></p>
半導(dǎo)體晶圓筒式去膠機(jī)ST-3300
<p>處理過程溫度低，能在高氣壓下維持等離子體</p>
真空等離子鍍膜機(jī)
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<p>3μm塵粒97%的清除率，6μm塵粒98%的清除率<br/></p><p><br/></p>
SPA-2600大氣等離子清洗機(jī)
<p>適用于處理各種小面積、處理軌跡精度高、邊角部分多材料的表面清洗活化，搭配射流直噴槍頭<br/></p><p><br/></p>
SPA-2800大氣等離子清洗機(jī)
<p>適用于處理各種大面積、形狀較復(fù)雜材料的表面清洗活化，搭配旋轉(zhuǎn)槍頭<br/></p><p><br/></p>
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