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全自動雙腔半導體快速退火爐RTP

<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-DTS-8全自動雙腔快速退火爐是在保護氣氛下的全自動立式快速退火系統，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用6寸8寸片快速熱退火制程。</span></p>
桌面型快速退火爐RTP,快速熱處理退火爐

<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-Table-6桌面型快速退火爐是在保護氣氛下的桌面快速退火系統，以紅外鹵素燈管加熱，精準控制升溫，保證良好的重現性與溫度均勻性，適用6寸快速退火制程。</span></p>
半自動半導體快速退火爐RTP

<p><span style="font-family: ">RTP-SA-12半自動快速退火爐是在保護氣下的半自動立式快速退火系統，以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用 4-12 英寸片。</span></p>
RPS遠程等離子源SPR-08

<p>SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術的自成一體的原子發生器，它的功能是用于半導體設備工藝腔體原子級別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場和磁場作用下，原材料氣體會被解離，從而釋放出自由基，活性離子進入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質產生化學反應，聚合為高活性氣態分子經過真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內部潔凈度。</p>
大腔體真空等離子清洗機

<p><span style="color: rgb(101, 113, 128); font-family: -apple-system-font, BlinkMacSystemFont, ">針對汽車內飾件制程中植絨、包覆工藝前，通過晟鼎真空等離子進行表面處理，可有效提升PP等材料的表面活性，使其更易與包覆材料結合，從而提高包覆的牢固度和耐久性。</span></p>
在線片式真空等離子清洗機PT-RF-A-12

<p>在線片式真空等離子清洗機主要用于半導體行業引線框架表面清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。</p>
ICP干法等離子去膠機ST-6100

<p>微波等離子去膠機反應速度快，反應時間短，處理過程溫度低<br/></p><p><br/></p>
半導體晶圓筒式去膠機ST-3300

<p>處理過程溫度低，能在高氣壓下維持等離子體</p>
真空等離子鍍膜機
USC顯示屏干式超聲波除塵

<p>3μm塵粒97%的清除率，6μm塵粒98%的清除率<br/></p><p><br/></p>
SPA-2600大氣等離子清洗機

<p>適用于處理各種小面積、處理軌跡精度高、邊角部分多材料的表面清洗活化，搭配射流直噴槍頭<br/></p><p><br/></p>
SPA-2800大氣等離子清洗機

<p>適用于處理各種大面積、形狀較復雜材料的表面清洗活化，搭配旋轉槍頭<br/></p><p><br/></p>

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